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臺(tái)階輪廓掃描

設(shè)備:臺(tái)階儀Dektak XT

廠商:美國(guó)Bruke

用途:通過(guò)該測(cè)試,可以得到探針移動(dòng)路徑上樣品的表面起伏數(shù)據(jù),從而分析出樣品的表面粗糙度、翹曲程度等信息。

技術(shù)指標(biāo):

l  掃描長(zhǎng)度: 50μm-55mm 

l  垂直測(cè)量范圍: 1mm 

l  臺(tái)階高度重現(xiàn)性5?, 1σ 1μm臺(tái)階上

l  垂直分辨率:最大1?6.5μm范圍) 

l  探針曲率半徑:0.2 um ,2um 

樣品臺(tái)尺寸:4英寸,6英寸,8英寸 


  • 地址:廣東省東莞市松山湖國(guó)家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓

  • 電話:0769-33882377

  • 郵箱:nfjc@cwbg-nf.com

  • 傳真:0769-23078230

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